アルバック成膜

アルバック成膜は、半導体の製造で使われているハードマスクブランクスや薄膜・パターン加工、MEMS加工を提供している真空の総合メーカーです。

アルバック成膜の特徴

アルバック成膜が提供しているハードマスクブランクスは、コンピュータやエレクトロニクス製品などの要となっている半導体集積回路の一つです。特にメタルクロムと酸化クロムで作られる低反射マスクブランクスは、国内だけでなく海外でも使われています。

また、TFT-LCDやタッチパネルに使われている大型マスクブランクスは、位相シフトブランクスやハーフトーンブランクスの製品化でも高い評価を得ています。優れた低欠陥性で微細パターンのマスクにも使用可能。大きなサイズにも対応しているので、様々なところに使用できます。

ガラスMEMS製品では、各種成膜技術やフォトリソ・パターニング技術を活用し、ガラスへの微細加工を可能にしています。生活と密接に関係しているライフサイエンス用途で使用される「DNA-CHIP」では、アルバック成膜のガラスの微細加工が用いられています。

その他、モバイル機器の小型化・高性能化を進めるハイエンドLSIやガラスMOLDなども製造・販売しています。各種電子デバイスへの薄膜加工では、スパッター法でガラス基板に各種材料を成膜。さらにフォトリソプロセスでパターニング加工も可能。試作から量産まで対応しています。

μ−TASやマイクロ化学システム、DNAチップなどのきわめて細かいデバイスでも対応可能。これまで培ってきたガラス基板の加工技術で、ガラス基板上への金属膜の成膜やパターニング、微細流路の作製、直接的な接合などの加工を行っています。

ガラス基板を使ったMEMSデバイスでは、設計・シミュレーション・フォトリソグラフィ・成膜・ウェットエッチング・洗浄・乾燥・ブラスト加工・ガラス基板接合など、多岐に渡るプロセスで対応。さらに、分析・評価でその特性を調べたり、ガラスMEMSの試作や量産も可能にしています。

このサイトでは、アルバック成膜の他にも、高品質な成膜加工会社（※）を紹介しています。

TOPページでは「技術面」「開発面」「納期・ロット面」といった、成膜加工会社を選ぶ際の課題別におすすめの3社を掲載。「基板材料」「形状」「膜の種類」などの仕様から絞り込んで探すこともできますので、成膜加工会社を探している企業は必見です。

成膜加工を依頼する際には、自社に合った成膜加工会社選びが重要になります。
このサイトでは自社に合った成膜加工会社を探すことができます。ぜひ理想の製品に成膜してくれる会社を見つけてください。

※高品質の定義…公式HPに「ISO9001取得」の記載がある成膜加工会社

引用元HP：アルバック成膜
https://www.ulcoat.co.jp/product_info/mems/

フォトリソグラフィで使う両面露光やEB露光など多数の機器の他、スパッタリング成膜装置やウェットエッチングベンチ、ブラスト加工装置、ガラス基板接合用ベーク炉など充実した設備体制。また、分析や評価のための光学顕微鏡や段差測定機などもそろっています。

引用元HP：アルバック成膜
https://www.ulvac.co.jp/company/group/

アルバックのグループ企業であり、真空技術を生かした材料加工を提供しています。グループ企業は国内だけでなくアメリカやヨーロッパ、中国など多数の国と連携したサービスを提供しています。

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