九州セミコンダクターKAW

九州セミコンダクターKAWは2010年に九州航空株式会社の半導体事業部から分社化して創業した会社です。ウェハ加工・マイクロ流路の開発から量産・ファクトリーオートメーション・生産受託業務を行っています。2004年にISO9001を取得し、翌年2005年にはISO14001を取得。複数の工場・営業所を設け、多種多様なニーズに対応しています。

九州セミコンダクターKAWの特徴

半導体への薄膜形成成膜サービス

九州セミコンダクターKAWでは、半導体ウェハなどの基板の上に絶縁膜や金属膜などの薄膜を形成する成膜サービスを提供しています。成膜の種類は、CVD・スパッタリングの2種類です。

2種類のCVD成膜装置・スパッタリング装置を用意しており、CVDはSiO2・SiN・SiON（P-5000はSiO2・SiNのみ）に対応。スパッタリングはCr・Ni・Ti・Cu・Al・AlCuに対応しています（逆スパッターも可能）。

特殊基板への少量対応も可能

九州セミコンダクターKAWでは、少量の試作開発から量産まで受託加工を行っています。CVD法・スパッタリング法のどちらも少量ロットや化合物半導体への加工が可能で、基板厚さは10mmまで対応可能です。

成膜加工のほかにも、各種ウェハに成膜を行った膜付ウェハの販売を行っています。絶縁膜、導電材料としての金属膜やその他レジストなどのプロセス材料、保護膜の成膜も可能です。

膜付ウェハの対応サイズは2～8インチ（金属膜は12インチまで）、膜種は絶縁膜がSiO2・SiN・SiON、金属膜はTi・Cu・Cr・Ni・Alなどに対応していますが、記載されている種類以外にも対応が可能です。ウェハを提供し、成膜のみを施すサービスも実施しています。

九州セミコンダクターKAWが対応している分野・製品

• 半導体
• デバイス
• 工業製品

イオンテクノセンターの生産体制や
保有している設備・機器

2種類のCVD装置

引用元HP：九州セミコンダクターKAW
https://www.kyushu-semi.co.jp/wafer-cvd.html

九州セミコンダクターKAWでは2種類のCVD工程装置を揃えており、低温で良質な酸化膜・窒化膜の成膜を行っています。特殊基板への少量対応も可能です。

スパッタリング装置

引用元HP：九州セミコンダクターKAW
https://www.kyushu-semi.co.jp/wafer-cvd.html

九州セミコンダクターKAWの使用するマグネトロン形低温高速スパッタリング装置は、複数枚の基板を同時に処理できるバッチ式であり、どちらも膜厚分布3000ű10％以内・逆スパッタが可能。主に量産用に用いられています。

九州セミコンダクターKAWの成膜加工事例・実績

引用元HP：九州セミコンダクターKAW
https://www.kyushu-semi.co.jp/wafer-cvd.html

ウェハなどの基板上に絶縁膜や金属膜を形成した事例です。メタル電極膜をそれぞれ取り扱っています。電気的・機械的な価値を付加させられるため、半導体の製造工程の下地づくりに役立てることができます。

九州セミコンダクターKAWの基本情報