東京エレクトロン

自社で開発・製造した半導体製造装置を、国内だけでなくアメリカや欧州、アジア、中東などの海外の半導体デバイスメーカーに販売。東京エレクトロンがつくる製造装置は、地球環境負荷への配慮や製造コストが抑えられています。

東京エレクトロンの
特徴

成膜プロセスの技術・生産性を高める各種成膜シリーズ

成膜機器には、酸化・アニール・成膜を行うバッチ式熱処理装置「TELINDY」シリーズ、独自の成膜手法で高い品質と生産性を叶えるセミバッチ式成膜装置「NT333」シリーズ、幅広い成膜アプリケーションに対応する「Triase」シリーズ、プロセスモジュールを自由に配置でき開発から量産まで柔軟に対応する「EXIM」シリーズ、磁気センサー向けの磁場中熱処理装置「MRT」シリーズとあります。それぞれに特徴があり、半導体製造プロセス技術・生産性を向上させられます。

中古装置の売買やアップグレードサービス

自社製中古装置の在庫や買取情報から、購入や売却をサポート。事前動作確認や改造、オーバーホール、裾付け、保守をワンストップサービスで提供しています。購入や売却の検討などは専用サイトから受け付けています。

また、既存装置に新機能を追加する改造サービス「アップグレードキット」などのサービスも。当社プロダクトスペシャリストが、生産環境から適切なアップグレード案を提案。安全面やスループット、メンテナンス性などの装置パフォーマンスを向上させます。

装置を最大限に活用するための各種サポートプラン

導入する装置のサポートサービスとして、4つのプランを用意。サポート対応体制では、工場に技術者を常駐させたり専門スタッフが電話対応で遠隔サポートするなど、要望や目的に合わせてチョイスできます。リモートによるサポートでは、装置から収集したデータを多角的に分析し、装置間差やスループット改善、予知保全などを実施します。

また、ウェブサービスとして納入装置情報、プロダクトや改造などの有償情報、スペアパーツやサポート支援情報、装置トレーニング情報など役立つ情報を提供しています。

このサイトでは、東京エレクトロンの他にも、高品質な成膜加工会社（※）を紹介しています。

TOPページでは「技術面」「開発面」「納期・ロット面」といった、成膜加工会社を選ぶ際の課題別におすすめの3社を掲載。「基板材料」「形状」「膜の種類」などの仕様から絞り込んで探すこともできますので、成膜加工会社を探している企業は必見です。

東京エレクトロンが対応している分野・製品

• コータ/デベロッパ
• エッチング
• サーフェスプレパレーション
• 成膜
• テストシステム
• ウェーハエッジトリミング
• FPD

東京エレクトロンの生産体制や保有している設備・機器

世界的にも高いシェアを誇る開発・製造・販売体制

成膜・塗布現像・エッチング・洗浄と、4つのプロセスで必要な半導体製造装置の開発・製造では、世界的にも高いシェアを誇っています。世界各国への販売台数は、年間6,000台規模という大きさです（2023年1月時点）。

世界に広がる研究体制

主要開発拠点は日本国内に3か所とアイルランド、韓国、台湾、アメリカにあり、コンソーシアムや研究機関と連携した半導体の技術革新に取り組んでいます。

東京エレクトロンの成膜加工事例・実績

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【分野別】
成膜加工事例を見る

東京エレクトロンの基本情報

所在地	東京都港区赤坂5-3-1 赤坂Bizタワー
電話番号	03-5561-7000
受付時間・定休日	公式HPに記載がありませんでした
会社名	東京エレクトロン株式会社
公式HPのURL	https://www.tel.co.jp/