AGCセラミックス

AGCセラミックスは2002年に旭硝子（現AGC株式会社）から分社・独立し、電鋳耐火物やファインセラミックスなどの高熱産業にオールインワン対応を行っているメーカーです。「Earth Saving」を経営方針としてセラミックス材料と技術を駆使したものづくりを行っています。

AGCセラミックスの特徴

原料処理からボンディングまで一貫生産

AGCセラミックスでは、ファインセラミックスの材料開発技術を培ってきたことから、原料処理・成形・焼成・加工・ボンディングまでの全工程を一貫生産しています。

スパッタリングターゲットについては、品質にこだわり安定した供給を心掛けており、最大長3.8m、最大幅1.4mまでの平板ターゲット、一部は円筒ターゲットを製作対象としています。

ユーザーの立場に立った技術的バックアップも実施しており、膜評価技術や成膜技術、異常放電防止技術といった部分でのサポートも行っています。

丁寧かつニーズに合った材料・光学設計

材料設計の段階から対応しており、薄膜に必要な「導電性」や「耐アルカリ性」といった機能からターゲット組成に落とし込み、さまざまなターゲット製品をラインナップしています。

低屈折膜用（n=1.46）中間屈折膜用（n=1.7～2.0）高屈折膜用（n=2.2～2.4）まで幅広い光学膜用ターゲットを揃えており、その中からニーズに合ったターゲットを選択。光学シミュレーション技術を活用して、光学多層膜の設計も提案しています。

AGCセラミックスが対応している分野・製品

• 電機・電子部品
• 自動車
• 事務機器

AGCセラミックスの生産体制や保有している設備・機器

オリジナルのオスミウム成膜装置

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AGCセラミックスの成膜加工事例・実績

引用元HP：AGCセラミックス
https://www.agcc.jp/product/target/tabid/139/Default.aspx

平板型のスパッタリングターゲットに成膜加工を施した事例です。事例ではさまざまな形状の平板型ターゲットを揃えています。質材はSi系・Nb系・Ti系・Zn系にそれぞれ対応。用途としてはディスプレイやタッチパネルなどの低反射膜や自動車熱反硝子や建築熱反硝子の保護膜に成膜することができます。

引用元HP：AGCセラミックス
https://www.agcc.jp/product/target/tabid/139/Default.aspx

円筒形のスパッタリングターゲットの事例です。円筒形については、Si系（ST）・Nb系・Ti系・Zn系（SZ/AZ/AZO）にそれぞれ対応しています。高い使用効率が得られることから、独自の技術を用いた一体成形・溶射・ボンディングタイプの円筒ターゲットを提供しています。

AGCセラミックスの基本情報