TiCNの成膜加工方法とは

目次

TiCNとは、Titanium Carbon Nitrideの略称です。TiNに炭素を添加することによって低摩擦特性を加えた硬質複合薄膜である特徴を持ちます。成膜加工会社選びをする際には、基礎知識として TiCN膜がどういったものかおさえておいた方が良いでしょう。ここでは、TiCN膜の特徴や、TiCNの成膜加工に用いられる方法を解説していきます。

TiCN膜の特徴

TiCNは高硬質であることから、TiCN膜は高硬度です。膜密着性だけではなく、耐摩耗・耐食性・耐熱性・低摩擦特性を合わせ持っているのが特徴です。
そのため、刃具や工具にコーティングする際などに多く使われています。

TiCN膜の硬度(HV)は、2,500~3,500にもなります。これは、TiNやCrNなどと比較してみても高い数字です。
膜構造は多層であり、色は灰色紫色から黒っぽい色をしています。TiNは金色なのですが、これに炭素が加わることによって色合いも暗く変化してきます。膜厚はTiN膜と同様で1~5μm程度です。

TiCNの成膜加工に用いられる方法

PVD法

PVDとは「Physical Vapor Deposition」の略称です。物理蒸着法とも呼ばれており、物理的に成膜します。真空蒸着、スパッタリング、イオンプレーティングの3つに分類され、真空条件下において製品に対して硬質の薄膜をつけます。

CVD法

CVDとは「Chamical Vapor Deposition」の略称であり、化学蒸着法のことをいいます。高温炉にガス状で各種化合物を供給し、受理物の表面に超硬質のセラミック化合物を化学的にコーティングさせるのが特徴です。

TiCNの成膜加工に対応している成膜加工会社を選ぼう

TiCN膜について紹介しました。TiCN膜は非常に高硬度であり、刃具や工具などを中心に選択されています。

また、TiNと比較すると硬度が高くなることに加えて膜厚は変わらないことからTiNのバージョンアップ目的でも選択されているのが特徴です。TiCNの成膜加工に用いられる方法が変われば特徴も変わってくるので、適した方法について検討が必要になります。

TiCNの成膜加工に対応している成膜加工会社を選ぶ際には、その成膜加工会社で対応している成膜加工方法なども確認した上で選択しましょう。

成膜加工会社を選ぶ際には、加工方法に関してよく理解が必要です。ですが、加工方法だけではなく、仕上がりの品質も重視して成膜加工会社を選択する必要があります。
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