大村技研

大村技研では、半導体の製造造装置の売買や再生支援や各種ウエーハのファウンドリーサービスを提供しています。CVDとPVDの成膜加工では、装置開発から評価まですべて自社内で行っています。

大村技研の特徴

CVDとPVDのファウンドリーサービス

ファウンドリーサービスでは、クライアントの製造ラインを停めることなく、大村技研の技術者と設備で開発可能。素材の調達から成膜、パターニング、特殊加工と幅広く対応しており、大量生産が必要な場合は、同種の製造装置を用意して行うなど、要望に応じたモノづくりです。

CVDの成膜受託加工では、PE=CVDの二酸化ケイ素やSiNをメインに請け負っています。1枚といった少量での成膜や、変わった特徴的の基板への成膜、パターニング後の基板にも対応しています。また、PE-CVD成膜では、スパッタ、イオンプレーティング、蒸着、EB蒸着など多数の加工方法から選べ、大サイズの基板への成膜も可能です。

仕様に応じて受託加工

ボンディング方式で製造したSOIウエーハや、希望する仕様に応じたオリジナル製作、エッジ形状を調整したe-SOIウエーハなど柔軟に対応。さらに、異形や特殊サイズ、ザグリや切り抜き、穴あけ、溝入れ、サイズダウン加工など特殊仕様も可能にしています。

また、製造工程において大村技研のウエハサイズが対応できなかった場合は、ウエーハのサイズダウン加工を行っています。

中古半導体製造装置の買取から再生、立ち上げ、メンテナンスなどに対応

半導体製造装置再生事業では、再生に関連したサービスを提供。買取、再生、立ち上げ、メンテナンスを一貫体制で請け負っています。下請けにだすことなく自社スタッフが行うので、中間マージンなどの費用がかかりません。

中古半導体製造装置を再び使えるようにするオーバーホールでは、クリーンルームで再生作業を行っています。パーツは新品から中古まで安定した供給を可能にしており、予算とニーズに合わせた提案をしています。

このサイトでは、大村技研の他にも、高品質な成膜加工会社（※）を紹介しています。

TOPページでは「技術面」「開発面」「納期・ロット面」といった、成膜加工会社を選ぶ際の課題別におすすめの3社を掲載。「基板材料」「形状」「膜の種類」などの仕様から絞り込んで探すこともできますので、成膜加工会社を探している企業は必見です。

大村技研が対応している分野・製品

• SOIウエーハ
• シリコンウエーハ販売
• 成膜加工（CVD）
• 成膜加工（PVD）
• パターニング
• ナノパターン
• サイズダウン加工

大村技研の生産体制や保有している設備・
機器

産業用機械の生産・設計・加工・再生を一貫体制で提供

東京にある本社の他、関東や東北にメカニカルセンターと営業所があります。機械加工や特殊ガス配管の他、クラス1000のクリーンルーム（ファクトリーⅡ）を活用した中古半導体製造装置の再生事業も積極的に行っています。

買取だけでなく保守サービスも提供

引用元HP：大村技研
https://www.otec-jp.com/business/used_equipment_trade/

中古半導体製造装置では、装置の設置や運用スタートなどの装置対応、定期的な点検や不具合のリサーチ、修理対応、既存装置の改善・改造など、技術者を派遣して使える安全性の高い保守サービスを用意しています。

大村技研の成膜加工事例・実績

該当する情報を発見できませんでした。

【分野別】
成膜加工事例を見る

大村技研の基本情報