成膜加工の流れ

薄膜形成（成膜）加工は、どのような流れで行われているのでしょうか？材料のチェックから洗浄、成膜、検品というそれぞれの工程について解説していきます。

一般的な成膜加工の
流れ

基板材料のチェック

自社で調達したり、顧客から預かった基板材料の数量や内容を確かめ、傷や欠損がないかをチェックします。しっかり確認することで、生産ラインに不良品が入り込むのを防ぎます。質の高い製品を、安定して供給するためには欠かせない工程です。

基板材料の精密洗浄

洗浄液や超音波のキャビテーション効果によって気泡を発生させ、基板材料の表面についた汚れを取り除きます。地味な作業に思えるかもしれませんが、高品質な成膜を行うための重要な作業のひとつです。

薄膜コーティング

洗浄した基板材料に薄膜形成（成膜）を行います。保有している薄膜製造装置を使って、クライアントのニーズに合わせた適切な方法で薄膜を形成していきます。基板材料のサイズや形状、材質に合わせて装置を使い分けるのはもちろん、試作なのか大量生産なのか、生産する量によっても、使用する装置を変えていきます。

完成品の検査

成膜が完了した製品について、技術者の目や手、そして機械を使って入念に検査します。製品によっては、ほんの少しの傷やムラでも性能に影響を及ぼすこともあるため、細かい部分も見逃せません。常に、高性能・高品質な製品が、安定して供給できるよう努めます。

その他の工程

薄膜パターン形成加工

各種フィルム基板やガラス、Si基板上へ、各種金属膜やITO膜のパターン形成加工を行います。薄膜形成技術とエッチング技術を組み合わせることで、さらに多様な膜構成や微細パターンの形成に対応することも可能です。成膜条件やパターン条件を正確に調整することで、極薄のフィルム基板へのパターン形成もできます。

品質チェックのために実施する各種試験

薄膜形成を行った製品に対し、温度や湿度などが厳しい状況であっても品質を保てるか、正常に使用できるかなど、品質確認のためにさまざまな試験を実施しています。

• 温湿度サイクル試験…温度と湿度を繰り返し変化させて、その変化に対する信頼性や耐久性を検査します。
• 耐熱試験…電気炉などを用いて高温状態を作り出し、熱に対する信頼性や耐久性を検査します。
• 耐湿試験…高温高湿器などを用いて、湿度に対する信頼性や耐久性を検査します。
• 耐薬品性試験…薬品を塗布または薬品に浸漬し、製品の耐久性や耐腐食性などを検査します。

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