セーレンKST

半導体用や光通信用シリコンウェーハの成膜加工、各種SOIウェーハやフルカラーレーザーモジュールの専業メーカー。自社独自の厚膜熱酸化膜技術は、シリコンやSOIウェーハに活用されています。

セーレンKSTの特徴

専業メーカーならではの豊富な加工メニュー

成膜加工では、半導体製造プロセスに関係する各種成膜プロセスや各種膜付ウェーハを提供。独自開発した超厚膜熱酸化膜形成技術は、優れた表面清浄度と安定の膜質を可能にしており、光デバイスに欠かせないものとして、国内外の通信機器メーカーや光部品メーカーなどで利用されています。

膜種には、酸化膜系の超厚膜熱酸化膜や薄膜熱酸化膜の他、窒化膜、ポリシリコンやアモルファスシリコン、有機膜膜系、メタル系と様々な膜種と製法を用意。希望の膜種で対応しています。

当社独自技術の厚膜熱酸化膜加工によるSOIウェーハ

SOIウェーハは、光通信部材に使用されている独自技術・厚膜熱酸化膜技術をベースに製作しています。センサーやアクチュエータなどのデバイス・システム（MEMS）分野にて活用されています。SOIウェーハ以外にも、Cavity SOIウェーハやThick-BOXなど特殊なSOIウェーハも取り扱っています。また、活性層の薄膜品については、厚膜熱酸化膜技術に信越化学工業の薄膜SOI技術も活用しています。

カスタムメイドでの基板加工・販売

半導体や光通信などに必要なシリコンウェーハや石英ウェーハ、化合物ウェーハ、各種ガラス基板、各種複合基板など様々な基板を取り扱っています。カスタムメイドでの注文にも対応しており、用途に合わせたサイズや製法、面方位や厚みを用意するなど、コストパフォーマンスの高い製品の提供を可能にしています。自社クリーンルーム内で徹底した品質管理・評価を行っています。

このサイトでは、セーレンKSTの他にも、高品質な成膜加工会社（※）を紹介しています。

TOPページでは「技術面」「開発面」「納期・ロット面」といった、成膜加工会社を選ぶ際の課題別におすすめの3社を掲載。「基板材料」「形状」「膜の種類」などの仕様から絞り込んで探すこともできますので、成膜加工会社を探している企業は必見です。

セーレンKSTが対応している分野・製品

• 成膜加工サービス
• 厚膜熱酸化膜加工
• SOIウェーハ
• 各種基板販売
• ウェーハ再生
• イオン注入

セーレンKSTの生産体制や保有している設備・機器

充実の設備で顧客の要求に
対応

成膜加工では自社クリーンルーム完備。SOIウェーハのための貼合せ装置やGrinder装置、CMP装置などの設備が。そして、イオン注入では高エネルギーイオン注入やウェーハ表面検査装置、走査型電子顕微鏡など各種必要装置が揃っており、幅広いイオン注入の要求に対応できるようにされています。

各部門でサービスを強化

福井県にある本社・工場と東京事務所を拠点に活動。成膜加工およびSOIウェーハ製作については製造部、工程設計や加工技術・開発案件については技術部、国内外へのSiC等の新材料関連事業は次世代半導体材料部、フルカラーレーザーモジュールの設計・開発・販売はOPTO事業部で担っています。

セーレンKSTの成膜加工事例・実績

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【分野別】
成膜加工事例を見る

セーレンKSTの
基本情報

所在地	福井県福井市下六条町13-23
電話番号	0776-41-7333（代表者）
受付時間・定休日	公式HPに記載がありませんでした
会社名	セーレンKST株式会社
公式HPのURL	https://www.kst.seiren.com/